臭氧水循环系统

LIQUOZON®臭氧水循环系统广泛应用于CVD，去胶和湿法清洗等工艺。

•LIQUOZON® Smart 臭氧水递送系统。提供高浓度(114ppm@5LPM)、大流量(80LPM@22ppm)臭氧水

•LIQUOZON® Single 臭氧水递送系统。紧凑型设计，适合于单片硅片清洗系统。提供高浓度(95ppm@2LPM)、大流量(20LPM@30ppm)臭氧水

•LIQUOZON® PrimO3 臭氧水循环递送系统。高浓度(115ppm@2LPM)、大流量(60LPM@30ppm)，可带循环水泵，主要用于硅片清洗工艺

•LIQUOZON® HeliO3 臭氧水循环递送系统。高浓度(45ppm@10LPM)、大流量(60LPM@14ppm)，带循环水泵，主要用太阳能电池片清洗和氧化物生长。

•LIQUOZON® Stream 臭氧水循环递送系统。高浓度(115ppm@5LPM)、大流量(140LPM@25ppm)，主要用于平板显示器清洗工艺