高真空烘箱

1.降温方式：风冷+水冷降温，任何降温时间降温速率均不可大于5℃；

2.控氧系统（采用氧分析仪精准控制）：高温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量

3.控温稳定度：±0.5℃；

4.温度均匀度：±1.5%℃（300℃平台，恒温15min后检测）；超温控制：200℃以内≤3℃，200-300℃≤5℃；

5.控制：腔体可独控温、氧含量，通气、报警保护；

6洁净度：Class100（0.3μm颗粒增长 ≤100ea，0.5μm颗粒增长 ≤100ea,采用高效过滤器过滤气体中的颗粒杂质，过滤效果可达99.997%）；

7操作界面：需要有设置OP,ENG,OEM权限（OP可查看recipe，点击启动、停止按钮，查看报警、运行记录；ENG：除OP权限外，增加修改recipe，导出作业记录功能；OEM:除ENG权限外增加手动控制各单元按钮）；

7设备运行记录可用USB端口导出excel格式记录（需显示开始、结束事件，烘烤程序名称，运行过程氧含量状况等记录），记录可保存至少15天；作业记录界面同样也可显示以上信息；