详细摘要： 本系列单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。■ 单晶硅烘箱箱体结构: 设计，箱体采用数控机床加工成型，箱门采用式，操作容易。内胆采用...