工艺用高纯水

电力半导体器件工艺用高纯水

1 、主题内容与通用范围

本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水（以下称高纯水）的级别、技术要求、测试方法和规则。

本标准适用于去离子处理后的高纯水。

2 、引用标准：GB11446电子级水及其检测方法。

3 、术语

3.1 电导率 Electrical conductivity

在规定温度下，1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单位。

纯水的理论电导率为0.05482 μs/cm (25℃时)。

3.2 电阻率 Resistivity，电导率之倒数。

纯水的理论电阻率为18.248 MΩ.cm (25℃时)。温度升高时电阻率下降。

3.3 总溶解性固体 Total dissolved solids（TDS）

水中溶解物质的总含量，包括钙镁离子、胶体、悬浮颗粒物、蛋白质、病毒、细菌、微生物及尸体。TDS通常以mg/L或ppm为单位。

3.4 总硬度（DH值）

水总硬度是指水中Ca2+、Mg2+的总量。

硬度一般以德国标示法为准，计为DH。即以每升水含氧化钙10mg为1DH。小于8DH为软水、大于17DH为硬水。