LED等离子清洗机-深圳市甲岸科技有限公司

参考价	面议

产品简介

应用范围：LED固晶前、点银胶前、引线键合前、LED封胶前等离子清洗，产品在荧光粉涂覆后等离子清洗。

甲岸科技LED等离子清洗机

甲岸科技LED等离子清洗机针对LED封装工序设计，主要对LED固晶前、点银胶前、引线键合前、LED封胶前等离子清洗，氧化层还原，表面性能活化等功效，增强材料表面的打线，粘接工艺能力，有利于下一道工艺的进行。

产品应用

1、广泛用于LED固晶前、点银胶前、引线键合前、LED封胶前等离子清洗，产品在荧光粉涂覆后等离子清洗。

2、提高材料清洁度、附着力、粘接力以及表面分子的活性

产品特点

型号	AP-VM150
等离子源系统	频率		13.56MHz 射频	40KHz 中频
	功率		0~1000W可调	0-5000W可调
			选配
真空系统	真空腔体	材质	316L不锈钢、航空铝（选配）
		腔体内部尺寸（MM）	500600500（宽高深)
		腔体容积	150L
		极板	17层，水平式，活动可调节
		密封性	级焊接密封
	泵	泵组	油泵/干泵+罗茨泵组合（选配）
		真空管路	不锈钢管、不锈钢波纹管
	真空计		1×105~1×10-1Pa
	质量流量计		＜±1% FS
	气路控制		2-4路处理气体气路，气体流量可调
	极限真空		5Pa
适用气体	流量范围		0-500SCCM（可调）
	工艺气体		Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选）
控制系统	1、PLC 自动控制；
	2、7寸触摸屏,图形用户界面；
	3、配方程序为 0~99；
	4、多级权限操作；
	5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；
	6、存储工艺数据及错误信息；
	7、报警信息提示及追溯；
	8、图形化界面检测处理参数；
	9、自动、手动操作可切换；
	10、维护提示紧急停止按钮；
	11、门感应器和真空互锁；
	12、机器运行信号指示；
	13、机器运行结束提示；
外观参数	外形尺寸(MM)		85017001020(宽高深）
	重量		700KG
设施配置	电力		五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定
	压缩空气		干燥压缩空气CDA
	其它		提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单.