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CVD气相沉积炉

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更新时间:2024-05-01 07:21:22浏览次数:55

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产品简介

用途:CVD气相沉积炉用于烧结碳碳及碳陶复合材料产品.主要配置:1.立式炉体,双层炉体结构,水冷夹套设计

详细介绍

用途:

CVD气相沉积炉用于烧结碳碳及碳陶复合材料产品.

主要配置:

1.立式炉体,双层炉体结构,水冷夹套设计。

2.炉膛内由发热元件,保温层,测温热电偶,监测热电偶组成

3.发热元件沿炉膛内壁均匀布置,有利于加热,温度均匀性好

4.PLC加触摸屏操作方式,有报警功能,自动化程序高,安全可靠

主要技术参数:

1.工作区:Ø1500X2000mm

2.高温度:1550℃

3.工作温度:1400

3.极限真空度:20Pa

4.加热方式电阻加热

5.工作气氛氩气及反应气体


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