《洁净厂房设计规范（GB50073-2013）》

洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求。

应根据空气洁净度等级的不同要求，选用不同的气流流型。

下列情况之一者，其净化空调系统宜分开设置：

运行班次或使用时间不同。

生产工艺中某工序散发的物质或气体对其他工序的产品质量有影响。

对温、湿度控制要求差别大。

净化空调系统与一般空调系统。

洁净室的温、湿度范围应符合表6.1.4的规定。

表6.1.4 洁净室的温、湿度范围

洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的值：

补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。

保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器，但空气洁净度等级为1级～5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷，吸尘口应加盖封堵。

净化空调系统设计对维护管理的要求应符合本规范附录C的规定。

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