超高灵敏度陀螺检漏设备

此超高灵敏度检漏设备，通过分子泵抽气使检漏室达到超高本底，吸气泵将残留在检漏室内部的氢气分子抽出，四极质谱检测从工件泄漏出的所有氦气，提高了陀螺检漏灵敏度，从而提高陀螺仪的控制精度。本系统的最小可检漏率可达1×10-13Pa·m3/s。本设备适用于陀螺、红外探测器杜瓦等微小精密器件超高灵敏度检漏。