| 赛普泰克有限公司
主营产品： 蒸馏系统;反应釜;压缩机;蒸馏装置;高压反应釜;隔膜式压缩机;溶剂回收蒸馏装置 |
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| 参考价 | 面议 |
薄膜沉积系统核心组件
船型金属蒸发器（MEB系列）
CreaPhys船型金属蒸发器可用于实验室研究、小批量生产，从操作真空上讲，可在高真空（HV）或超高真空（UHV）状态下工作。蒸发器安装于一个水冷底板上，也可以选择安装于不同型号的法兰盘上。
CreaPhys提供不同型号的蒸发器以适用于客户的不同要求。MEB系列传统形状的船型蒸发器可适用于标准金属物质（如Au, Ag, Cu, Mg等）的蒸发。如果需要对具有腐蚀性的可熔性金属（如铝和镍等）进行蒸发，则应该选择氧化铝坩埚蒸发器。
技术参数： l 温度范围： 300°C -1400°C（对氧化铝铝坩埚，可达1700°C） l 沉积速度：投掷距离250mm条件下，10-2 … 100 A/Sec（与物质密切相关） l 水冷系统 | 选项： l 氧化铝坩埚型蒸发器；特殊的陶瓷材料船型蒸发器，及特殊的内屏蔽设计 l 不同材质、不同大小的金属蒸发器 l 电源供应 l 不同的安装架 l 多组蒸发器 |
船型金属蒸发器MEB-X系列
船型蒸发器体积 | 【大小】 | 订货编号 |
0.5 ccm | -0.5 | MEB-0.5 |
1 ccm | -1 | MEB-1 |
2 ccm* | -2 | MEB-2 |
*2ccm体积于与氧化铝坩埚蒸发器结合时方可配置
法兰选项
法兰 | 【法兰】 | 订货编号 |
无法兰 | BASE | MEB-【大小】-BASE |
DN63CF* | CF63 | MEB-【大小】-CF63 |
*更大的法兰、ISO法兰需要定制。水冷系统没有包括。
遮光板选项
氧化铝蒸发器 | 【选项】 | 温度范围 | 订货编号 |
无 | 1400°C | MEB-【大小】-【法兰】 | |
有 | -AL | 1700°C | MEB-【大小】-【法兰】-AL |
说明：如果这些标准组件不能满足你的实际使用要求，欢迎直接咨询。
下图为不同用户定制的各种不同形状的微型蒸发器，包括船型、矩形、坩埚型、单个蒸发器、多组蒸发器等。
