雷尼绍超精密测量光栅 超高精度 超小型

VIONiC光栅系列是雷尼绍性能高的增量式光栅，它可提供直接的数字位置反馈，具有优异的测量性能，运行速度快且可靠性好。VIONiC读数头集成雷尼绍经过市场检验的可靠光学滤波系统和细分技术。它具有超低的电子细分误差(SDE)、优异的抗污能力，而且无需额外使用适配器或单独的接口。

此外，VIONiC读数头可兼容各种直线栅尺、圆弧栅尺和圆光栅，从低膨胀ZeroMet™栅尺到高精度REXM圆环光栅，无一例外。VIONiC系列光栅因此成为具有多功能性和优异测量性能的理想光栅。

VIONiC光栅采用雷尼绍第三代光学滤波系统，可对多个光栅周期进行平均，有效滤除脏污等引起的非周期性特征。名义方波光栅条纹也被滤去，以在探测器上留下一个正弦波形。这里使用的是一个多条纹结构，它非常细，能够产生4个对称相位信号形式的光电流。这些结合在一起可免去DC器件，并可产生具有高光谱纯度和低偏置值的正弦和余弦信号输出，同时保持500 kHz以上的带宽。

包括自动增益控制、自动平衡控制和自动偏置控制在内的集成高级动态信号调节组合在一起，确保实现超低电子细分误差 (SDE)(通常 < ±15 nm)。

光学滤波系统的这一改进加上精选的优质电子器件，大带宽增量信号可达到12 m/s的速度，同时也是同类光栅中位置抖动(噪声)最小的。读数头内置细分功能，同时利用其他抗噪电子器件进一步增强高分辨率型VIONiC的抗噪功能，从而实现抖动水平仅有1.6 nm RMS。

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