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Edwards PVPK 阀是快速反应的气动操作直角隔离阀,带有波纹管和 O 形密封圈,可用于提供无油脂的真空环境。这种阀带有直观和电子的阀状态指示功能,可以选...
BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成,用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的,可以使泵在前级管线维护期间继续运行,从而使在严苛制程中运行的...
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Edwards 前级/粗抽阀配有 ISO NW 粗抽和预抽真空泵端子,采用手动和气动操作方式。这是一个完整的 3 端口装置,集独立的前级/粗抽阀的功能于一身。
这类阀是软启动的气动操作管线阀,带有可更换的孔板,可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。随动阀和主阀的组合使得初始泵送可以缓慢进行,以尽可能减...
Edwards GV 系列不锈钢密封插板阀适用于需要整体密封且在残留大气中存在低限度碳氢化合物的应用。这些质量出众的阀提供了高度的整体真空和高的传导性。
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