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扩散泵维修扩散泵的工作原理扩散泵是目前获得高真空的泛、最主要的工具之一
扩散泵维修 |
扩散泵的工作原理 扩散泵是目前获得高真空的泛、最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。
扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为机器能运作在状态,平时对扩散泵的维护和保养非常重要。
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