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Hiden RGA 系列残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)用于对真空诊断的精确分析,进行过程中产生气体的分析。
· 残余气体或泄漏检测
· 实质泄漏或脱附分析
· 除气研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/过程气体污染物
特点:
· 灵敏度PPM,质量数至300amu
· 稳定性(24小时以上,峰高变化小于±0.5%)
· MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
· 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
· 混合模式扫描,多个窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰
· 同步显示数据图,列表
· 同步背景扣除,自动质量数列表
· 数据输出为ASCII格式,至windows设备
· 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如
Excel、SPC-IV统计过程控制软件等
HAL RGA 四极质谱仪来源于:北京英格海德分析技术有限公司
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