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HMT 100-RC 高压残余气体分析仪(High Pressure Residual Gas Analyser)配备了精密的四极质谱仪,*的双重模式RGA系统,检测已有的或生产过程中形成的气体。针对真空诊断以及过程监测。
应用:
· 残余气体或泄漏检测
· 实质泄漏或脱附分析
· 除气研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/过程气体污染物
特点:
· HMT型适用于高压4x10-3 Torr操作(zui小压力4x10-8 Torr)
· 在P < 10-4 Torr时具有高灵敏度的RGA操作模式,zui小压力1x10-11 Torr
· zui大质量数100amu,软件操作。
· 稳定性好(24h之上,高度变化小于±1% )
· MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
· 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
· 混合模式扫描,多个窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰等
· 同步显示数据图,列表
· 同步背景扣除,自动质量数列表
· 数据输出为ASCII格式,至windows设备
· 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如 Excel等
HMT100 高压残余气体分析仪来源于:北京英格海德分析技术有限公司
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