5英寸硅晶片腐蚀机 返回列表页

5英寸硅晶片腐蚀机

适用于1″~8″碳化硅清洗型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB。德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工；该设备适用于5英寸硅晶圆片的清洗腐蚀。分为电器部分、箱体部分、隔离门部分、在线加热部分、喷淋部分、喷淋装置的上下移动部分、管路部分、抽风部分。 1．本设备为柜体式，外箱体为德国磁白PP，内箱体为德国PVDF，操作面带有德国透明PVC门窗。 2．清洗满足工艺：上料→热冷DI水冲洗→下料DI水压力：3kg/cm2DI水加热温度：75°~85° 3．冷热水喷淋方式：自动控制 4．管路部分： ⑴气动阀采用德国产，执行机构与流体隔离，流体接触材质为PVDF，用于DI水的气动阀。有需求此方面设备的朋友，咨询