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浅析硅晶圆生产为何需要应用超纯水设备?

2023-12-25  阅读(605)

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       前言:熟悉半导体领域的人都会了解硅晶圆,硅晶圆是半导体的核心,也是成本占比最高的材料,对纯度也有超高要求,是一种为了制成半导体积体电路的原材料。本文浅析一下硅晶圆生产为何需要应用超纯水设备。

硅晶圆作为半导体的核心部件,其在制造过程中需要应用超纯水设备的原因有以下几点:

1、对于清洁度要求硅晶圆制造过程中对水质清洁度要求非常高。普通水中的杂质和离子可能会影响到硅晶圆的品质和性能,因此需要使用超纯水来清洗和加工硅晶圆。

  2、制作中需要使用表面活性剂来清洗硅晶圆表面的污垢和油脂。这些表面活性剂对水的纯净度要求非常高,应用高度纯净的超纯水,使表面活性剂能够充分发挥作用,有效清洗硅晶圆表面的污垢和油脂。

3、生产效率在硅晶圆制造过程中,使用超纯水设备可以显著提高生产效率。高度纯净的超纯水可以快速蒸发,使硅晶圆更快地干燥和冷却,从而缩短生产周期和提高生产效率。


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  简而言之就是为了提高硅晶圆质量需要使用超纯水设备我国虽然半导体材料产业起步较晚,但是发展比较迅猛。那么什么样的超纯水设备才能产出高质量的超纯水?

  目前常见的超纯水设备核心工艺为“预处理+反渗透+EDI+抛光混床"的组合形式。超纯水设备具有高效低能、运行成本低,水资源利用率高、体积较小、维修量小,运行时间长等优点。这样的超纯水设备在运行时是不需要添加任何化学品的,不仅减少了化学品运输问题,同时降低了系统运行费用。并且设备不会有酸碱废液产生,所以不需要酸碱中和池,一般情况下产出的浓水可以回收再利用,并且采用的设计结构相对靠紧,所以其占地非常小,可以为企业节省很多空间。

  超纯水设备可以更好的,连续的,稳定制备高品质的超纯水符合硅晶圆生产用水水质标准。随着我国科技半导体产业的不断发展与壮大,对于硅晶圆的产出质量要求越来越高,所以对于使用超纯水设备要求也会提高,这也将带动相关产业的发展。




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