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超纯水设备成为半导体产业“中国力量”爆发的前提条件

2021-10-12  

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  硅与我们的生活息息相关,也成为很多产业创新的一个重要引擎。硅片因其技术成熟、成本稳定、应用广泛等特点,是目前用于制造半导体器件的主流材料。半导体硅片是半导体器件的主要载体。硅片作为半导体材料绝缘性好,制成的半导体器件稳定性高,因而已被半导体产业所广泛使用。

  导体器件加工的硅片对纯度有着*要求,通常要达到99.999999999%。在半导体制作工艺中,50%以上的工序中硅片与超纯水直接接触、80%以上的工序需要进行化学处理,而化学处理又与超纯水有关水中的杂质会进入硅片,如带入过量的杂质,就会导致器件性能下降,影响产品性能因此,制备高品质的超纯水已成为发展大规模集成电路的重要前提技术。

  制备高品质的超纯水--超纯水设备

  超纯水设备在设计上,采用成熟、可靠、自动化程度高的两级RO+EDI水处理工艺,确保处理后的超纯水水质符合要求,水利用率高,运行可靠,经济合理。关键设备及材料均采用可靠的产品,PLC+触摸屏控制,全套系统自动化程度高,系统稳定性高。大大节省人力成本和维护成本。使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

  我国硅片产业起步较晚,技术积累相对落后。国内多家厂商,已经实现了12英寸主流半导体硅片的技术突破。可以预见,有了超纯水设备的冲锋陷阵,中国半导体产业未来的发展将会涌现出更多的“中国力量"。


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