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多省“发力”芯片产业 EDI超纯水设备助力我国芯片产业发展
2021-10-21
我国各大城市也在推动芯片、半导体等设备和零部件的研发。在长沙、合肥、上海、江苏等地出台发展“中国芯”的相关政策后,中国经济大省广东也将在芯片产业上“发力”了。
在集成电路的生产过程中,大致可以分为三个部分:设计、制造和封测,并围绕制造进行一系列的过程。首先,上游晶圆材料是硅片,经拉单晶、切割、清洗,得到合格的集成电路生产原材料。然后,根据设计的电路和输入掩膜,在晶圆厂进行芯片生产。生产完成后,就进入第三部分封测环节,封装主要是切割和布线,然后将裸芯片放置在基板上,并作为一个整体进行固定和封装。需要在封装前后进行测试,以获得合格的芯片产品。
在上述芯片生产过程中,每一道化学处理都离不开水,因此芯片行业对于生产用水的水质要求也是相当严格,因为一旦水质不合格,或者是水中含有杂质,就会降低器件的性能,降低成品率,因此在生产时需要用到超纯水。EDI超纯水设备是决定芯片行业用水是否合格的关键。
EDI超纯水设备通常由石英砂过滤器,活性碳过滤器,阻垢剂、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人值守,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。
EDI超纯水设备具有抗污染能力强、节能环保、产水水质稳定、脱盐率高、系统内无死水等优势,出水水质符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准,助力我国芯片产业的发展。