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芯片超纯水设备为国内芯片研发提供坚实的“可控”基础
2021-10-25
芯片行业对生产过程中的水质有很高的要求。超纯水是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,是目前水质处理中的“天花板",芯片清洗使用超纯水才能保障芯片的品质。但超纯水的回用率不高,因此对高品质超纯水的需求量巨大。根据芯片用水要求,超纯水设备采用全自动电去离子超纯水处理技术、预处理和反渗透处理,有效去除水中各种盐类和杂质,进一步改善水质。出水水质*芯片生产用水要求。
芯片超纯水设备通常由多介质过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器等组成,预处理系统、RO反渗透主机系统、EDI系统、混床等构成主要工艺。水箱设有液位控制系统,水泵设有高低压保护装置,水质在线检测控制仪表,电气采用模块化组合PLC,通信远传至中控室上位机,实现现场就地控制和集中控制两种运行方式。与其他同类产品相比,该设备具有更高的性价比和设备可靠性。
芯片超纯水设备能够连续稳定地制备高质量的超纯水,不会因树脂再生而停止运行。设备的结构设计比较紧凑,占地面积小,可以为企业节省大量空间。超纯水设备出厂都经过调试,运行故障概率小,日常维护、维修等操作非常简单。芯片超纯水设备还配备了反渗透预脱盐技术,保证反渗透系统进水达标,避免膜元件的损坏,从根本上保证设备的出水质量。同时,芯片超纯水设备废水产量少,不会污染环境,具有很高的环境效益和经济效益和广阔的发展前景。为国内芯片自主研发产业提供坚实的“可控"基础。