膜介电低温等离子体发生器，是继玻璃陶瓷等硬质介电材料发生器的百年技术发展后，一种全新的介电质材料技术及发生器介电技术成果。由于基础材料与核心技术方面的突破，在提高发生器的可靠性、高效能，实现大型发生器元器件及大型发生器机组设备的发展进成中，获得新路径。膜介电质，有优良的电气性能、机械性能、耐温性、耐辐射性、电化学稳定性以及良好的阻燃性，在200℃的破坏性试验中连续工作。与传统硬质介电材料不同，RTPF膜介质为0.11~0.3mm超薄的软质介电结构，收缩率130℃时≤1.0%，电损0.01~0.15，介质效率98%，具有较宽的动态高频特性，适合任意放电面积设计值的单体RTPF发生器元件及发生器模块装置。2003年3月，我们首先设计完成了膜介电RTPF-G63和RTPF-G108规格的强电离低温等离子体发生器装置，*应用于等离子体技术和臭氧技术领域。发生器装置，由精度*的冷却合金导体和膜介质介电结构，经二次承压布气及双极冷却密封集成，在高频高压电源驱动下进行电离工作。在4年多国内和国外的数百台单机试运行中，发生器性能稳定，运行参数和指标已达*技术水平。为配合用户及其同行业的工程、实验和商用需要，我们将大型发生器装置升级到单体集成，完成大型发生器机组设备的核心元件装置模块化，实现大型发生器机组的单板机总线结构的多路单点控制模式，突破了发生器技术的发展瓶颈及其局限，进一步提升了大型发生器机组的技术合理性及安全运行的技术保障。
