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伯东企业（上海）有限公司
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上海伯东代理美国考夫曼KRI 射频离子源 RFICP 380 属于大面积射频离子源, 离子束流: 1500 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.离子束可聚焦, 平行, 散射.采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/......
美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 特性:
1. 大面积射频离子源
2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求
3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求
4. 离子束流: >1500 mA
5. 离子动能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自动控制器, 一键自动匹配
8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW
9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装
10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用
11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
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