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详细介绍
气体质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。
技术指标
名称 | 主要参数 |
量程 | 10sccm/100sccm/1slpm/10slpm/20slpm |
精度 | ±1%F.S. |
气体类型 | H2、N2、Air、He（可定制） |
响应时间 | 1s |
使用压力 | ≤0.3MPa |
工作温度 | 0~50℃ |
工作湿度 | 0~95%R.H.（非冷凝） |
工作电压 | 24V±10%/1A |
接口类型 | RS-232 |
控制方式 | 按键/RS-485/4~20ma |
气路材质 | 不锈钢/铝合金 |
气路接头 | 多规格选择（可定制） |
尺寸 | 60*26*80mm |
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