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详细介绍
布鲁克的SEM PicoIndenter系列是深度感应的纳米力学测试系统，专门设计用于与扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM）的上等成像能力联用。有了这些系统，可以进行定量纳米力学测试，同时使用SEM进行成像。Hysitron PI 85L SEM PicoIndenter 是一款专用的原位纳米力学测试仪器，专为 SEM 使用而设计，但也适用于各种平台和环境。该仪器采用布鲁克电容式传感器与极快的 78 kHz 控制系统配合使用，在纳米尺度下提供**的性能和稳定性。紧凑的小尺寸设计使该系统非常适合腔体、拉曼和光学显微镜、同步辐射光束线等。
专为高性能和多功能性而设计
Hysitron PI 85L 的样品台设计能容纳厚度达 10 mm 的样品，同时提供三个方向 （XYZ） 3 mm 范围的**样品定位。此外，样品和传感器的机械耦合为纳米力学测试提供了一个稳定、刚性的平台。总之，这种设计可实现*大的倾斜度和*小工作距离，在测试期间实现*佳成像效果。
与 SEM 成像同步的原位力学数据
使用 Hysitron PI 85L 采集的原位力学数据与 SEM 成像同步，且并排显示。在左侧的示例中，负载位移数据中的不连续性与在包含铜互连和脆电介质材料中观察到的断裂相关。同时进行机械测量和SEM成像可**了解材料变形行为。
**使用各种模式探索材料变形行为
Hysitron PI 85L 可采用多种不同模式，在各种不同样品中测试基本力学性能、应力应变行为、刚度、断裂韧性和变形机制。
除了标准的测试模式外，PI 85L 还可以升级，并可使用可选模式进一步扩展其功能。从加热选项到电特性，PI 85L 可根据您的需求进行调整。
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