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集成电路车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无...
集成电路无尘室和磁盘制造车间为代表的电子工业工程洁净室（区）除了对微粒的严格控制外，还对温湿度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更严格，消除静电对生产产品的...
集成电路芯片车间是包括一硅基板、至少一电路、一固定封环、一接地环及至少一防护环的电子元件的环境车间。
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