洁净室的几种排风系统介绍

在洁净室中产品生产过程中使用或产生各种酸性和碱性物质、有机溶剂和一般气体、特种气体；在致敏性药物、高活性、有毒性药物生产过程还会有相应的有害物质排出或泄漏入洁净室内，按生产工艺过程排出的废气的类型可将排风装置（系统）大体划分为下列几种类型，博泰小编带大家了解关于洁净室的几种系统介绍。

（2）有机气体排风系统   

在产品生产中使用各类有机物质、溶剂作为原辅材料或清洗剂时，都将会在相关的场所或设备处散发有机物质、溶剂的气体，对这类场所或设备均应设置排风装置。在一般情况下，有机排风系统中的有机气体浓度是很低的，若能达到国家标准规定的大气排放标准时可直接排入大气，不需设置废气处理装置；当排风系统中有机气体浓度超过规定时，应设有机气体处理装置，经过处理达标后才能排入大气。

（3）酸性气体排风系统

在产品生产中的湿法化学腐蚀、酸液清洗、实验室内均有酸性气体排出，在这类酸性气体的排风系统通常设置温式洗气吸收塔，处理后排入大气。

（4）碱性气体排风系统

在排风系统气体中含有碱性物质或在排气中混入碱性化学试剂，与酸性气体排风系统类似，通常采用湿式洗气吸收塔处理后排入大气。由于大气排放标准越来越严格，需对含有碱性物质（或酸性物质）浓度较低的排气也应进行净化处理才能达到排放标准。

（5）热气体排风系统

对生产过程中的各种炉子、高温灭菌设备等均有热气排出，由于排气温度校高，有时可采用热回收等方式进行处理，若排气量较小或不便进行处理时，在采取必要的隔热措施后直接排入大气。

（7）特殊气体排气系统

在半导体集成电路生产中常常需使用一些特殊气体，其中许多特殊气体均属于易燃易爆或有毒甚至剧毒或有腐蚀性的气体，对于这类排气系统先应按特气的品种、性质划分排气系统，必须防止在排气系统中产生化学反应；其次应选用的废弃处理装置，排气系统的设备、管道的材料选用必须根据排气中的特气性质选择相适应的额的材质，不得与排放的特气发生反应。