详细介绍
产品介绍
本蒸发镀膜仪在对样品进行蒸发镀膜的过程中,样品台可进行旋转,以获得更均匀的薄膜。本型号的小型程序控温蒸发镀膜仪应用范围广,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜,因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。仪器体积小巧,可有效节约实验室空间;操作简单,对不同材料的适应性强,因此被广泛应用于各大高校和科研院所的实验室当中。
产品特点
1.本设备采用石英腔体,易于清洁和样品的放入;
2.样品台可以旋转,镀膜效果能够更加均匀;
3.采用钨丝作为发热源,*高温度可达到1700℃,并配有的氧化铝舟装载样品(仅1600ºC以下使用,若蒸发温度大于1600ºC,样品应直接放在钨丝篮中);
4.并且可将设备转换到手动调节状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度可达2000ºC,可达到对样品镀碳等实验要求。
5.可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜。
6.进气口配有针阀,用于调节进气流量。
技术参数
项目 | 明细 |
供电电压 | AC220V,60Hz |
*大功率 | 800W |
样品台 | 直径φ50mm; 可旋转,转速5rpm; 与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm |
石英腔体 | O.Dφ180mm x I.Dφ166mm x 235mm |
*高温度 | 1700℃ |
热电偶 | S型热电偶,工作温度200℃~1500℃ |
真空计 | 电子式真空计 |
真空接口 | KF16 |
进气接口 | 1/4NPS |
真空泵 | 双极旋片真空泵 |
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