详细介绍
桌面型双源蒸发镀膜仪
本小型蒸发镀膜仪可进行真空蒸镀,在对样品进行蒸发镀膜的过程中,样品台可进行旋转,以获得更均匀的薄膜。镀膜电流*大可达60A,本型号的小型蒸发镀膜仪应用范围广,可制备各种金属薄膜和部分非金属薄膜,因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。设备配有两套蒸发源,可以通过挡板切换,实现对样品的多层镀膜。仪器体积小巧,可有效节约实验室空间;操作简单,对不同材料的适应性强,十分适合实验室选购。
产品特点
1. 样品台可以旋转,镀膜效果能够更加均匀;
2. 采用钨丝篮为发热源,*高温度可达到1700℃;
3. 可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜。
4. 进气口配有针阀,用于调节进气流量。
5. 双蒸法源,可以实现多层镀膜。
技术参数
项目 | 明细 |
产品型号 | CY-EVP180G-2S-LV (2 Source) |
供电电压 | AC220V,60Hz |
*大功率 | 1200W |
蒸发源数量 | 2x钨丝篮 |
样品台 | 直径φ65mm; 可旋转,转速0-20rpm; 与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm |
真空腔体 | 材质:高纯石英 φ180mm x 210mm |
*高温度 | 1700℃ |
热电偶 | B型热电偶 |
真空计 | 电阻式真空计 |
真空接口 | KF16 |
进气接口 | 1/4NPS |
整机尺寸 | 500x350x400mm |