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详细介绍
详情介绍：
样品台 | φ80mm | 至蒸发源间距 | 20mm~50mm可调 | φ80mm |
直流溅射头 | 数量 | 2" x1 |
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蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮 | *高温度 | 1700℃ |
| 热电偶 | S型热电偶 |
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真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 150mm | 观察窗口 | 全向透明 |
| 腔体材料 | 高纯石英 | 开启方式 | 顶盖拆卸式 |
真空系统 | 机械泵 | GHD-031B | 抽气接口 | KF16 |
| 真空测量 | 电阻规 | 排气接口 | KF16 |
| 极限真空 | 10E-1Pa | 供电电源 | AC;220V 50/60Hz |
| 抽气速率 | 旋片泵：4L/S | ||
溅射电源配置 | 数量 | 直流电源 x1 | *大输出功率 | 150w |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 500 X 350 X 400mm |
| 整机功率 | 1.5kw | 整机重量 | 15kg |
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