三靶等离子溅射镀膜仪（增强型）

样品台

尺寸

100mm

旋转速度

1~20rpm可调

加热温度

≤500℃            

控温精度

±1℃   PID控温 

等离子溅射靶

数量

2英寸x3

冷却方式

水冷

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm X 210mm    

观察窗口

全向可视

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

上下盖材质

304不锈钢

抽气接口

KF16

进气接口

1/4英寸卡套接头

电源配置

数量

直流电源x1

输出功率

*大150W

溅射电源

1200V

*大溅射电流

50mA

真空系统

真空泵类型

双极旋片真空泵

抽气接口

KF16

排气接口

KF16

抽气速率

1.1L/s（4m³/h）

极限真空度

≥0.1Pa

真空测量

电阻真空规

其他

供电电源

AC 220V  50Hz

整机功率

2kW

整机尺寸

500mm X 320mm X470mm

整机重量

30kg