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详细介绍
详情介绍：
本型号换位自转等离子镀膜仪，采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型换位自转等离子镀膜仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。换位自转等离子镀膜仪配备换位自转式样品台，用户可以在触控屏上实现一键换位，样品台可在两个靶位自由切换，到位后样品台还可进行自转，以增强镀膜的均匀性。另外客户可以选配晶振式膜厚仪对膜厚进行监测，以提高镀膜的精准度。
本设备体积小巧造型美观功能强大，是实验室镀膜试验的*佳选择。
换位自转等离子镀膜仪技术参数：
| 项目 | 明细 |
| 产品型号 | CY-PSP180G-1TA-SWR |
| 样品台 | 直径φ60mm， 可在两个靶位间自动切换 |
| 直流溅射头 | 2"x1 |
| 腔体材质 | 高纯石英 |
| 腔体尺寸 | φ180mm X 150mm |
| 真空泵 | 旋片泵 |
| 极限真空 | 1.0E-1Pa |
| 真空接口 | KF16真空法兰 |
| 进气口 | φ6.35卡套接头 |
| 供电电源 | AC 220V 50Hz |
| 整机功率 | 1.5KW/2KW（旋转加热） |
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