半导体材料是指在室温下绝缘体与导体之间具有导电性的材料，包括半导体制造材料和半导体密封测试材料。半导体制造材料包括衬底材料(主要是硅片)、电子气体、光掩模、抛光液、光刻胶和辅助化学品、高纯度靶材等。

　　硅片是半导体工业的上游原材料。下游产业可将硅片制成各种半导体器件，用于后续加工，如集成电路、二极管、功率器件等。据SEMI统计，2020年，全球晶圆制造材料市场达到349亿美元，其中硅晶圆的销售额占比更高，达到36.64%，是半导体制造的主要原材料。

　　纯水是半导体生产离不开的必要元素。传统纯水制备方法主要有蒸馏法和离子交换法。蒸馏设备要求严格，产量低，能耗高。离子交换法再生失效的离子交换树脂需要大量的酸碱溶液和大量的清洗水，劳动强度高。早期用于医药、化工、发电等行业的纯水水质要求不是很高，但随着半导体行业的快速发展，对纯水的水质要求越来越高。

　　传统方法不适合单独用于生产高纯度超纯水。20世纪60年代以来，随着膜技术的发展，出现了微滤、超滤、反渗透和电渗析等新的水处理技术。目前，RO+混床系统已经取代了传统的离子交换系统，但反渗透对原水中溶解气体和一些弱电解质等杂质的去除效果较差，混床再生会消耗酸碱溶液，产生一定量的废水。EDI工艺可连续再生无酸碱溶液的离子交换树脂，减少环境污染。设备结构简单，操作方便，高效节能，劳动强度低，出水纯度高。因此，EDI超纯水设备越来越受到人们的重视。