前期油泵泵的维护
1.安全信息
    泵必须由接受过适当培训的技术员来维护；
    确认该技术员对泵油及系统的产物十分熟悉；
    做维护之前必须将泵停下，降到安全的温度；
    断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外；
    维护完毕，在没接上电源之前，重新检查一下泵的旋转方向；
    ‘O’ rings 和垫圈如果损坏不可重复利用；
    在运转过程中，泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害；
    维护完毕后，应检查是否有泄露的地方，如有，应重新密封；
    不要接触或吸入泵受高温（260℃）产生的热降解的产物，它们是很危险的，包括油、油脂和真空脂。

2.维护计划
    为使泵能正常工作，需参照下表做其维护
    维护项目     频率
    检查油位    需要时，每月
    更换泵油    工作3000 h
    检查并清洗入口滤器    每次换油时
    清洁前置真空泵载气滤网    每次换油时
    清洗马达风扇周围    每年
    清洗泵四周    每工作15000 h
    安装新刀片    每工作15000 h
    检查马达的状态    每工作15000 h
    检查前置真空泵油位

    根据需要，可以在泵运转的时候检查油位，但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。
    1.透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在zui低限以上，zui高限以     2.如果油位在zui低限或低于zui低限，打开加油孔，加油至zui高限，如加得过满可从出口放掉点。
    3.如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。

更换前置真空泵油
    1.开启泵运转10分钟以加热泵油，然后关泵（油加热后可降低其粘性，比较容易倒出来）。
    2断开泵和电路及真空系统的连接。     3.取下加油孔的塞子     4.将泵放在一个适当的支撑物（如：凳子）上以方便泵的倾斜，在排油口下放合适的容器。取下排油口的塞子，让油在重力的作用下流到容器中。
    5.油受到污染时：
5.1取下加油孔的塞子，倒进干净的油。
5.2重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟。
5.3断开泵和电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来。
5.4重复上述步骤直到将泵清洗干净。
    6.塞上排油口的塞子，移掉支撑物，重新接上泵和电路及真空系统的连接 。
    7.装上新油，直到油位达到MAX位置附近。
    8.等几分钟直到油抽到泵中，需要的话，可再添油（需再关泵）。塞上加油孔的塞子。

检查和清洁前置真空泵入口过滤器 。     1.旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。
    2.用适当的溶液清洗入口过滤器，阴干入口过滤器。     3.重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ ring和入口转接器。

清洁前置真空泵载气滤网
    1.取下固定垫圈
    2.取下金属丝网及滤头元件
    3.用合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件，阴干后重新装在泵上
4.重新固定好固定垫圈

清洗马达风扇周围
    1.关掉泵，断开其与电源的连接
    2.利用干的布或毛刷清除电动机的风扇罩和围栏的污染物

注意:
    如果电动机的风扇罩及周围不保持干净的话，进入马达的气流将受到限制从而导致泵过热。