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表面测量利器:椭圆偏振光谱仪 UVISEL PLUS

来源:HORIBA 科学仪器事业部   2023年10月21日 11:07  
 

 

  产品名称:椭圆偏振光谱仪
 
  产地:法国
 
  型号:UVISEL PLUS
 
  典型用户:NASA 戈达德太空飞行中心
 
  01  仪器用途及应用范围:
 
  UVISEL 是20 多年技术积累和发展的结晶,即使在透明的基底上也能对超薄膜进行精确的测量。作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型,它采用了PEM 相位调制技术,与机械旋转部件技术相比, 能提供更好的稳定性和信噪比。

    先进功能材料
 
  ♦  薄膜厚度、光学常数表征
 
  ♦  材料/ 表面改性研究
 
  ♦  粗糙度、孔隙率表征
 
  ♦  渐变层、界面层等分析
 
  ♦  穿过率、反射率曲线测量

    汽车
 
  ♦  薄膜厚度、光学常数表征
 
  ♦  表面粗糙度、孔隙率表征
 
  ♦  渐变层、界面层分析
 
  ♦  透射率、反射率测量
 
  ♦  涂层及镀层分析
 
    半导体材料
 
  ♦  硅片上SiO2 薄膜厚度监控
 
  ♦  光刻胶n,k(190-2100nm)
 
  ♦  SiN,SiO2 等膜厚测试
 
  ♦  第三代半导体外延薄膜厚度
 
    能源/光伏
 
  ♦  薄膜厚度、光学常数表征
 
  ♦  工艺对镀膜的影响分析
 
  ♦  渐变层、界面层等分析
 
  ♦  膜层不均匀性成像分析
 
  ♦  在线监测

  02  产品特点:
 
  •  50 KHz 高频PEM 相调制技术,测量光路中无运动部件
 
  •  具备超薄膜所需的测量精度、超厚膜所需的高光谱分辨率
 
  •  多个实用微光斑尺寸选项
 
  •  可用于在线实时监测
 
  •  自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等
 
  •  配置灵活,测量范围可扩展至190 nm~2100 nm
 
  03  相关用户应用推荐:
 
  ♦  小小的薄膜居然在太空望远镜上这么重要?| 前沿应用
 
  ♦  一键操作,全自动分析——显示面板多维度薄膜分析 | 前沿应用
 
  ♦  多维度半导体薄膜材料分析——椭圆偏振光谱表征方案 | 光谱技术头条
 
  04  索取样本、联系报价
 
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