等离子体质谱仪（ICP-MS）是一种高精度、高灵敏度的分析仪器，广泛应用于环境科学、生物医学、材料科学、地质学等领域。它结合了等离子体源的高温电离能力和质谱仪的高分辨率分离能力，能够对样品中的微量元素进行定量分析。工作原理先将样品转化为等离子体，然后通过电场加速等离子体中的离子，使其进入质谱仪进行分离和检测。在这个过程中，离子的质量决定了它们在磁场中的运动轨迹，从而使得不同质量的离子可以被有效地分离。
等离子体质谱仪的主要组成部分包括等离子体源、质谱仪和数据处理系统。等离子体源是产生等离子体的关键部分，常见的等离子体源有感应耦合等离子体源（ICP）、微波诱导等离子体源（MIP）和激光诱导等离子体源（LIPS）等。质谱仪主要包括四极杆、飞行时间质谱仪和磁扇形质谱仪等，用于分离和检测离子。数据处理系统则负责收集和处理来自质谱仪的信号，生成分析结果。
等离子体质谱仪具有以下优点：
1.高灵敏度：由于等离子体的高温电离能力和质谱仪的高分辨率分离能力，可以检测到非常低浓度的元素，灵敏度远高于传统的光谱分析方法。
2.高准确度：测量结果不受样品基体的影响，可以实现对微量元素的准确定量分析。
3.宽动态范围：可以在很大范围内同时分析多种元素，满足不同领域的分析需求。
4.快速分析：分析速度非常快，一般只需几分钟就可以完成一个样品的分析。
5.多元素分析：可以同时分析多个元素，实现多元素的同时测定。
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