半导体实验室建设的基本要求

半导体实验室的建设要求涵盖环境控制、设备系统、材料结构及管理规范等多个方面，博泰小编带大家了解相关知识。

一、空间布局与分区

1、‌气流设计‌采用层流模式，空气从洁净区向低洁净区单向流动，避免污染扩散。

2、‌功能分区‌划分为洁净区、非洁净区及辅助区，实现人流/物流分离。设备间大于等于1.5米，避免交叉污染。

二、设备与材料要求

1、‌净化系统‌

配置高效过滤器， 空调系统需满足温湿度与洁净度双重控制需求。

2、‌特种系统‌

超纯水、超纯气体及防泄漏管道系统，废气处理系统与应急设施。

3、‌材料选择‌墙面/顶板采用50mm厚夹芯彩钢板等防尘材料，地面需耐腐蚀、抗静电。

三、管理与安全规范

1、‌人员管理‌

进入实验室要穿戴洁净服、手套、头罩等防护装备，禁止携带外部物品，实验后需清理工作台并登记仪器使用情况。

2、‌危险品操作‌

应该要严格规范易燃、有毒化学品的使用流程，废弃物按标准处理。设置紧急停机按钮与消防设备，确保操作安全。

五、其他要求

建筑需具备承重、抗震性能，采用耐火材料。 照明≥300LX，新风补充量占总送风量的10%-30%。