扩散泵机组在真空镀膜机中起着至关重要的作用，其维护保养和应用方法对于确保设备的正常运行和延长使用寿命至关重要。以下是关于扩散泵机组的维护保养及应用的具体建议：
扩散泵机组的维护保养方法
•冷却水管理：在运行过程中，必须确保冷却水供应畅通。停止加热后，需等待泵工作液冷却后方可关闭冷却水。
•真空状态管理：扩散泵停止工作时，应保持其内部真空状态，以防止泵油劣化。长期存放时也应保持真空状态，并清除冷却水套内的剩余水分。
•气体管理：被抽气体需保持干燥、无腐蚀性且无灰尘，以确保扩散泵的正常运行。
•定期检查：定期检查泵的性能，包括泵油是否减少或氧化，零件和泵腔的清洁情况。必要时进行加油、换油或清洗处理。
•重新启动前的检漏：重新启动前必须进行检漏工作，确保连接处无漏气隐患。
扩散泵机组的应用方法
•安装与装配：重新装配时，应保持泵芯与泵底垂直且与泵腔同心，各级喷嘴间隙应按原要求调整好。
•清洗与烘干：清洗零件及泵腔时，先用航空汽油清洗，然后用丙酮擦洗，并在80-100摄氏度下烘干或用电吹风吹干。
•启动条件：只有在达到扩散泵的前级真空度时才能进行加热，否则会加速泵油的氧化。
•前级机械泵的管理：注意前级机械泵的工作情况，因为前级机械泵的性能直接影响油扩散泵的正常工作。
通过以上维护保养方法的应用，可以有效延长扩散泵机组的使用寿命，确保其高效稳定运行。
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