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洁净室的压差控制原理

来源:南京博泰科技创业服务有限公司   2025年04月08日 11:31  

 

洁净室压差控制的核心是通过压力梯度引导气流方向,结合动态风量调节和物理隔离结构,实现污染物的物理屏障。博泰小编带大家了解相关知识‌。 


一、基本原理 


1、气流方向控制‌ 


利用压差引导气流从高洁净区向低洁净区或污染控制区流动。高洁净度生产区的压力高于辅助区,气流方向由生产区流向辅助区,再通过排风系统排出‌。 


2、静压差维持‌ 


洁净室通过控制与相邻空间的静压差,形成单向气流屏障。正压洁净室通过送风量大于回风量和排风量,防止外部污染物侵入。负压洁净室则通过排风量大于送风量,避免内部有害物质外泄‌。 


二、关键控制方法 


1、送风、回风与排风平衡‌ 

通过调节空调系统的送风量、回风口开度及排风阀开度,动态平衡风量差。 


2、分级压差设置‌ 

同一洁净区‌以走廊为基准,各房间压力值阶梯分布‌。不同洁净等级区‌相邻区域压差≥5Pa。如万级洁净区需保持比十万级区域高5Pa以上,百级区域则更高‌。 


3、结构辅助设计‌ 

缓冲间与气闸室采用互锁门结构,减少开门时气流干扰。负压气闸室可隔离不同洁净区‌。余压阀或差压传感器自动调节余压阀开度或联动新风/排风阀门,实时补偿压差波动‌。 


三、特殊场景应用 


1、湿度差异控制‌ 

干燥洁净室需保持正压,避免相邻高湿区域的湿空气流入‌。 


2、负压控制‌ 

对产生有毒气体、高致敏性药物的洁净室,需维持负压防止污染物扩散‌。 


四、动态监测与调整 


通过压差传感器实时监测数据,结合自动控制系统调整风阀、风机频率等参数,应对因设备启停、环境变化引起的压差波动‌。



 

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