超纯水制备的步骤有哪些？

超纯水是电子行业中常用的术语，但在其他行业诸如太阳能光伏，制药，发电以及研究实验室等也被使用到。虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”，但质量标准各不相同。即使在电子行业中，不同应用诸如半导体、液晶面板及各种电子元器件对超纯水的要求也各不相同。其中半导体中代表了“超纯水”使用的高等级，这也是我们在此要讨论的内容。

超纯水制备主要包括以下三个阶段，即初步吸附过滤阶段、反渗透净化阶段和树脂离子交换阶段。其中，离子交换即是将水中的正离子与离子交换树脂中的H+离子交换，水中的负离子与离子交换树脂中的OH-离子交换，从而达到纯化水的目的。具体说来主要有以下步骤：

1.原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。

2.预处理系统：原水箱、原水泵、杀菌剂、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统。

3.双级反渗透系统：保安过滤器、高压泵RO、反渗透系统。反渗透膜可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。

4.EDI系统：EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

5.抛光树脂：无化学析出的核子级树脂，去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质，使水质达到18MΩ·cm以上。

6.终端超滤：能有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物力。是整套系统最后的防火墙，确保产出的高纯水不受二次污染。

就目前来看，EDI超纯水设备行业内竞争非常激烈，国内就有很多制造超纯水设备的厂家，在超纯水制备工艺的前提下，国产超纯水设备受到了人们的青睐，国产超纯水设备同样能够做到出水质量的高纯度。