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详细介绍
晶圆切割3D形貌检测机应用
（1）崩边检测
（2）沟槽深度扫描测量
（3）线条图形扫描宽度提取
（4）测试位置可以自定义
晶圆切割3D形貌检测机样品测试数据
（1）槽深测量
（2）槽宽测量
（3）四个位置的测量结果
晶圆切割3D形貌检测机样品测试小结
（1）随机选取四个镭射槽的槽宽在53.4~57.7μm，槽深在20.9~25.9μm
（2）测量四个位置自动化所需时间约为2min
 |  |
| 槽内干涉条纹图 | 表面干涉条纹图 |
样品三维图
| 苏州工业园区汇光科技有限公司 |
| 参考价 | 面议 |
更新时间：2023-04-28 08:16:43浏览次数：199
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晶圆切割3D形貌检测机应用
（1）崩边检测
（2）沟槽深度扫描测量
（3）线条图形扫描宽度提取
（4）测试位置可以自定义
晶圆切割3D形貌检测机样品测试数据
（1）槽深测量
（2）槽宽测量
（3）四个位置的测量结果
晶圆切割3D形貌检测机样品测试小结
（1）随机选取四个镭射槽的槽宽在53.4~57.7μm，槽深在20.9~25.9μm
（2）测量四个位置自动化所需时间约为2min
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