紧凑型水冷却 Diffstak 泵配有集成的冷却挡板，回流超低，漏气更少，并且安装所需的橡胶密封件也大大减少，同时还能提供极其清洁的泵送系统。
多年以来，Edwards Diffstak 63（ISO63 进气口）设计已通过数千例安装的泵得到证实。
此泵拥有手动操作的高真空隔离阀，并且配备了：NW10 弯管、NW10 定心环、NW10 夹、水管连接和套圈以及进气口 ISO63 Co-Seal。
多年以来，Edwards Diffstak 63（ISO63 进气口）设计已通过数千例安装的泵得到证实。
此泵拥有手动操作的高真空隔离阀，并且配备了：NW10 弯管、NW10 定心环、NW10 夹、水管连接和套圈以及进气口 ISO63 Co-Seal。
技术数据
| 抽速 | |
| 氮气 | 135 l s-1 |
| 氢气 | 200 l s-1 |
| 前级泵zui小排量* | 5 m3h-1 |
| *的前级泵 | RV5 |
| *的液体 | Santovac® 5 |
| 液体充填量（干） | 60 ml |
| 与 6mm 压缩接头 | ISO63 |
| 前级连接 | NW10 |
| 冷却水连接 | 兼容的进气口连接 |
| 加热器功率 | 0.45 kW |
| zui小冷却水流速 （20°C） | 42 l h-1 |
| 气动接头 | 6 mm 联轴器 x ¼” BSP 阳螺纹螺栓 |
| 气动执行压力 | |
| zui小 | 2.4 bar / 35 psi |
| zui大 | 6.9 bar / 100 psi |
| 重量 | 9 kg |
* 对于zui大吞吐量。对于不需要zui大吞吐量的应用，请使用 RV3。
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