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Horiba SEC-E40 质量流量控制器、流量计

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公司名称上海进申工贸有限公司
品牌
型号SEC-E40、SEC-E40MK3
所在地上海市
厂商性质代理商
更新时间2017/3/13 14:32:32
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产品标签:

Horiba 质量流量控制器质量流量计 SEC-E40 SEC-E40MK3

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公司介绍主营产品

我司代理日本Yamato、美国DWYER、美国AALBORG、美国Omega、美国Alicat、日本HORIBASTEC、日本KOFLOC、日本yamato产品已多年，主要产品有日本YAMATO喷雾干燥器、恒温水槽BV100S、干燥箱SKN、马弗炉PO，旋转蒸发仪，等离子清洗机，蚀刻机，实验室设备，AALBORG质量流量计GFM、AALBORG质量流量控制器GFC、HORIBA STEC质量流量控制器SEC-E40、SEC-E50、SEC-N112、SEC-Z514、Z524、DWYER2000差压表、压差变送器MS、防爆差压开关1950，压力开关SA、压力变送器626，流量变送器GFC、风速计641、温湿度变送器、投入式液位变送器、液位开关L6，测试仪器、阀门；日本KOFLOC质量流量控制器/计，实验用流量计、流量控制阀等；美国Omega热电偶、Omega热电偶插头、Omega热电偶线、Omega流量计等；韩国TK，SUPER LOK，卡套，超纯隔膜阀，VCR直通，镍垫片，中国区一级代理，有焊接、卡套、VCR接头等。产品质量可靠稳定，广泛应用于电子半导体，太阳能，暖通，空调，食品，制药，生物工程，智能楼宇，电厂，化工，水处理，环境监测，工业制造和实验室等领域。

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喷雾干燥器，制粒干燥机，恒温箱，高精度恒温箱，微差压表，压差表，压差开关，高静压压差开关，防爆压差开关，高低限压差开关，差压变送器，数显差压变送器，防爆差压变送器，防爆压力变送器，压力开关，防爆压力开关，风速变送器，数显风速仪，手持式压差计，手持式风速仪，风量罩，浮子流量计，防腐蚀流量计，流量开关，防爆流量开关，液位开关，防爆液位开关，温度记录仪，温湿度记录仪，温湿度变送器，手泵，气体质量流量控制器，气体质量流量计，数字式气体质量流量控制器，高精度热式质量流量计，液体质量流量计控制器

产品简介在线询价

Horiba SEC-E40 质量流量控制器、流量计
低成本，模式输出，0-10SLPM
型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，

Horiba SEC-E40 质量流量控制器、流量计产品信息

Horiba SEC-E40 质量流量控制器、流量计

低成本，模式输出，0-10SLPM

型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.

可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，

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Horiba SEC-E40 质量流量控制器、流量计被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。

概要

· 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制

· 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。

· 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3、SEC-E50MK3

Horiba SEC-E40 质量流量控制器、流量计

技术规格

型号	SEC- (质量流量控制器)	SEC-E40、SEC-E40MK3	SEC-E50、SEC-E50MK3
	SEF- (质量流量计)	SEF-E40	E50
适用气体种类*1		非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质		SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号		非通电时　关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范围 (适于SEC系列)		2?* F.S.
流量测量范围 (适于SEF系列)		0?* F.S.
响应速度		1秒以内(T98)
流量精度		±1% F.S.
直线性		±0.5% F.S.
反复性		±0.2% F.S.
工作差压值值 (适于SEC系列)		10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用压力 (适于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　压		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用环境温度		5?50℃(精度的确保：15?35℃)
流量设定信号		0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?* F.S.
流量输出信号		0?5VDC(zui小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2		1/4SWL 类型

型号	SEC- (质量流量控制器)	SEC-E60	SEC-E70	SEC-E80
	SEF- (质量流量计)	E60	E70	E80
适用气体种类*1		N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀		N₂、O₂、Air、H₂
气体接触部材质		SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢
阀门型号		非通电时　关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		50/100 SLM	200 SLM	300/500 SLM
流量控制范围 (适于SEC系列)		5?* F.S.
流量测量范围 (适于SEF系列)		0?* F.S.
响应速度		1秒以内(T98)		2秒以内(T98)
流量精度		±1% F.S.		±2% F.S.
直线性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
反复性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
工作差压值值(适于SEC系列)		100?300kPa(d)	200?350kPa(d)
使用压力 (适于SEF系列)		350kPa(G)以下
耐　压		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10^-7Pa?m³/s(He)以下		450kPa(G)加压10分钟减压1%以内
使用环境温度		5?45℃(精度的确保：15?35℃)
流量设定信号		0.25?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5?* F.S.
流量输出信号		0?5VDC(zui小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2		3/8SWL 类型		1/2SWL 类型

*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：zui大值300kPa(G)；SEC-70/80：zui大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。