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真空磁控溅射镀膜系统

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称郑州成越科学仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号CY-TRP
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2020/12/31 14:16:28
  • 访问次数517
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郑州成越科学仪器有限公司位于郑州*开发区863软件园内,是一家专业从事材料制备设备和材料制备原料代理的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向,立志做材料制备技术及设备和原料的提供商。 郑州成越科学仪器有限公司的“研发团队”凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。 郑州成越科学仪器有限公司 近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*。 如果您正在被国货的产品质量所困扰,选择我们将改变您对国货的某些观念;如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然,选择我们将有专业的技术团队为您量身定做!如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁,选择我们一切的问题将由我们负责到底。
压片机
简单介绍: 真空磁控溅射镀膜系统主要由溅射真空室、永磁磁控溅射靶(三个靶)、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。真空磁控溅射镀膜系统广泛应用于科研院所,实验室制备单层或多层薄膜,以及新材料新工艺研究。
真空磁控溅射镀膜系统 产品信息
详情介绍:

真空磁控溅射镀膜系统设备用途:

 用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。

真空磁控溅射镀膜系统技术参数:

真空室

圆筒型前开门结构,尺寸Ø450×40mm

真空系统配置

复合分子泵、机械泵、气动闸板阀、进口SMC气缸节流阀

极限压力

6.6 *10-6 Pa。(经烘烤除气后)

恢复真空时间

25 分钟可达到≤6.6×10-6 Pa。(短时间撰兹大气并充入干燥氮气后开始抽气)

磁控靶组件

永磁靶三套;靶材尺寸Ø60mm(其中一个可溅射磁性材料);各靶射频滩射和直流裁射兼容;靶内水冷;三个靶可共同折向上面的样品中心;靶与样品距离 90~130mm可调;每个靶配进口 SMC 旋转气动挡板

单基片加热台

样品尺寸

Ø4英寸

运动方式

基片可连续回转,转速 030 /

加热

进口加热丝加热,高加热温度 600 ±1

挡板形式

进口 SMC 转角气缸控制

气路系统

控制器 2

计算机控制系统

采用 PLC +工控机+触摸屏全自动控制方式

可选配件

膜厚仪、气泵、水冷循环机

设备占地面积

主机

I000×1800mm2

电控柜

900×600mm2

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关键词:控制器
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