1200℃三温区三通道混气CVD系统采用全彩高清触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够的提高您的实验效率。系统所配有的三路浮子流量计,可以较为准确的配制出实验所需的混合气体;另有一压力表安装在浮子流量计正面,可以监测气体压力及混合槽压力。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
1200℃三温区三通道混气CVD系统技术参数:
项目 明细 供电电压 AC220V,50Hz MAX功率 5KW 加热温区 220mm+440mm+220mm 工作温度 1100℃ (1200℃<1h) 控温精度 ±1℃ 升温速率 建议≤10℃/min 控温方式 AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条 三温区独立控制,带有过热和断偶保护 炉管材质 高纯石英 炉管尺寸 φ60mm O.D×1300mm L 气体通道 三通道质量流量计 气体量程 A:100sccm B:300sccm C:500sccm 系统真空 5~10Pa(如需更高真空度可以选配其他的泵)
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