旋转PECVD
本产品为等离子增强回转化学气相沉积系统（旋转PECVD），炉管采用变径设计，中部管径较粗且有有混料隔板，能够随着炉管的旋转将粉体或者颗粒反复混合，通过机械传动控制工作管能360°不间断旋转，使得管内物料搅拌混合获得均匀受热效果；设备另配有等离子发生装置，采用电感耦合与炉管连接，产生的等离子能够满布炉管，有效的提高反应物活化能，降低反应温度，提高反应效率。设备配有三路质量流量计及混气装置，可用于向路管内通入多种气体，同时设备配有高性能机械泵，能够快速将炉管抽至真空；通过泵和气路的配合可以实现多种CVD工艺。旋转装置十分适合在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。
技术参数
| 双温区管式炉 | 产品型号 | CY-O1200-60IIC-R |
| 设备功率 | 3KW | |
| 炉管材质 | 高纯石英 | |
| 炉管尺寸 | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm（石英异型管） | |
| 炉膛长度 | 440mm | |
| 加热区长 | 200mm+200mm | |
| 工作温度 | 0～1150℃ | |
| 极限温度 | 1200℃ | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 热电偶类型 | K型热电偶 | |
| 控温模式 | 30段程序控温，PID参数自整定 | |
| 显示模式 | 高清全彩LCD触控屏 | |
| 密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | |
| 供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |
| 旋转速度 | 0~13rpm | |
| 倾斜角度 | 0~35° | |
| 3路质量流量计 | 产品型号 | CY-3Z |
| 气路数量 | 3路 | |
| 流量计类型 | 质量流量计 | |
| 测量范围 | A路：0~100sccm; B路：0~200 sccm; C路：0~500 sccm | |
| 测量精度 | ±1.5% | |
| 工作压差 | 0.1~0.5MPa | |
| 管路接口 | 1/4英寸卡套接头 | |
| 供电 | AC220V 50/60Hz | |
| 真空系统 | 真空泵 | 双极旋片泵 |
| 抽速 | 1.1L/s | |
| 抽气接口 | KF16 | |
| 泵极限真空度 | 10E-1Pa | |
| 供电 | AC220V 50/60Hz | |
| 射频电源 | 信号频率 | 13.56MHz±0.005% |
| 功率输出范围 | 0~500W | |
| *大反射功率 | 100W | |
| 射频输出接口 | 50Ω，N-Type，female | |
| 功率稳定度 | ≤5W |
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