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三靶磁控溅射镀膜仪双电源

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称郑州成越科学仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2020/12/31 20:57:06
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郑州成越科学仪器有限公司位于郑州*开发区863软件园内,是一家专业从事材料制备设备和材料制备原料代理的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向,立志做材料制备技术及设备和原料的提供商。 郑州成越科学仪器有限公司的“研发团队”凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。 郑州成越科学仪器有限公司 近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*。 如果您正在被国货的产品质量所困扰,选择我们将改变您对国货的某些观念;如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然,选择我们将有专业的技术团队为您量身定做!如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁,选择我们一切的问题将由我们负责到底。
压片机
简单介绍: 三靶磁控溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比磁控溅射镀膜设备,具有标准化、模块化、可定制化的特点。磁控靶有1英寸2英寸可以选择,客户可以根据所镀基板的大小自主选购;所配电源为500W直流电源和500W射频电源,直流电源可用于金属薄膜的制备,射频电源可用于非金属膜的制备,三个靶可以满足多层或者多次镀膜的需要。若客户有其......
三靶磁控溅射镀膜仪双电源 产品信息
详情介绍:

该设备可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。该三靶磁控溅射镀膜仪与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备。

镀膜仪配有两路高精度质量流量计,客户若另有需求可以定制至多四路质量流量计的气路,以满足复杂的气体环境构建需求;仪器标配的涡轮分子泵组,极限真空可达1.0E-5Pa,同时另有其他类型的分子泵可供选购。分子泵的气路由多个电磁阀控制,可以实现在不关泵的情况下打开腔体取出样品,大大提高了您的工作效率。本产品可以选配一体机工控电脑对系统进行控制,在电脑程序上可以实现真空泵组的控制、溅射电源的控制等绝大多数功能,可以进一步提高您的实验效率。

三靶磁控溅射镀膜仪(直流电源+射频电源)

样品台

尺寸

φ140mm

控温精度

±1

 

加热温度

*高500

转速

1-20rpm可调

磁控溅射头

数量

2” x3 (1”,2”可选)

水冷机规格

10L/min流速的循环水冷机

 

冷却方式

水冷

 

 

真空腔体

腔体尺寸

Dia.300mm×300mm

观察窗口

φ100mm

 

腔体材料

不锈钢

开启方式

上顶开式

质量流量计

2路;量程100sccm;100sccm(可根据客户需要定制多路气路)

真空系统

产品型号

CY-GZK103-A

抽气接口

CF160

 

分子泵

CY-600

排气接口

KF40

 

前极泵

旋片泵

真空测量

复合真空计

 

极限真空

1.0E-5Pa

供电电源

AC;220V 50/60Hz

 

抽气速率

分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  综合抽气性能:20分钟真空度可达: 1.0E-3Pa

电源配置

数量

直流电源x2  射频电源 x1

*大输出功率

直流电源500W 射频电源500W

 

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机尺寸

600mm X 650mm X 1280mm

 

整机功率

4KW

整机重量

300kg

 

极限真空度

1.0E-5Pa

 

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