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UPS三靶磁控溅射镀膜机

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公司名称郑州成越科学仪器有限公司
品牌
型号CY-MSP325S-3RF-D
所在地
厂商性质其他
更新时间2020/12/31 21:27:57
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公司介绍主营产品

郑州成越科学仪器有限公司位于郑州*开发区863软件园内，是一家专业从事材料制备设备和材料制备原料代理的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向，立志做材料制备技术及设备和原料的提供商。郑州成越科学仪器有限公司的“研发团队”凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验，先后研发出了多款材料制备设备。主要产品有：微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等；其他的产品还有：等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。郑州成越科学仪器有限公司近年来，在社会各界的关心支持下，公司不断发展壮大，与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系；公司还聘请了多位国内外重点高校的教授，博导为公司常年的技术顾问，他们时刻与国内外学术界保持交流，出国访问，并亲临一线指导产品的生产和研发，使我公司的产品不断完善，并紧跟世界研究热点，推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家，并在国内外市场获得业界*。如果您正在被国货的产品质量所困扰，选择我们将改变您对国货的某些观念；如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然，选择我们将有专业的技术团队为您量身定做！如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁，选择我们一切的问题将由我们负责到底。

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简单介绍：三靶磁控溅射镀膜机是我公司自主研发的高性价比的磁控溅射镀膜设备。它是标准化，模块化和可定制的。该装置可用于制备单层或多层铁电薄膜，导电膜，合金膜，半导体膜，陶瓷膜，介电膜，光学膜，氧化物膜，硬膜，PTFE膜等。与同类设备相比，这种三靶磁控溅射镀膜机不仅用途广泛，而且具有体积小，操作简便的优点，是实验室制备材料膜的......

UPS三靶磁控溅射镀膜机产品信息

详情介绍：

技术参数

电源电压	l 交流220v，60Hz
UPS	l 20KVA 16KW，延迟1小时 l 16节电池，容量38AH
真空室	l 尺寸：直径 325毫米*高385毫米 l 材质：304不锈钢 l 视口（窗口）：约4英寸（100毫米），带快门
样品台	l 顶部样品架 l 样品表：直径 150毫米 l 样本数量：大直径4英寸 l 转速：0-40rpm可调 l 加热温度：高700oC l
水冷装置	l 水流量：2.3m3 / h l 电源：3P l 制冷量：8250Kcal / h l 压缩机输出功率：2.25KW
磁控溅射枪	l 3×2''磁控溅射枪，带自动快门 l 向上溅射方向 l 目标直径：2英寸 l 磁铁：稀土磁铁
射频发生器	l l3×RF 300W自动匹配电源 l l功率输出范围：5W〜300W l l大反射功率：100W l l电源稳定性：±0.1％ l l谐波成分：≤-50dbc l l电源：单相187-253 VAC，50 / 60HZ l 效率：≥70％ l l功率因数：≥90％ l l反射功率（大功率）：<3W l l大负载电流：30ARMS l l大负载电压：7500VRMS l 射频输出接口：50Ω，L29或定制 l 比赛时间：1〜3s l l匹配阻抗的实部范围：0〜80Ω l l匹配阻抗的虚部范围：﹣200j〜﹢ 200j l l冷却方式：强制冷却
质量流量计	l l3×MFC质量流量控制（Ar，O2和N2） l l测量范围：*大20sccm l 带气动隔离阀和过滤器。
通过PC或PLC全自动控制	l 储存至少100个配方 l 19''平板控制器