过滤精度0.003μm *流量500~3,000L/min
● 超大流量
适用于输入侧一次性流量在500~3,000ℓ/min的大型气体管线场合。
● 高过滤精度
0.003μm的高过滤精度,使用脉动性强的陶瓷元素,几乎不会堵塞,因此几乎没有必要进行定期性的维护。
● 高性能
的200℃烘烤加热器(可选项),能把水分、氧等成分控制在ppb以下。
规格:
过滤精度0.003μm *流量500~3,000L/min
● 超大流量
适用于输入侧一次性流量在500~3,000ℓ/min的大型气体管线场合。
● 高过滤精度
0.003μm的高过滤精度,使用脉动性强的陶瓷元素,几乎不会堵塞,因此几乎没有必要进行定期性的维护。
● 高性能
的200℃烘烤加热器(可选项),能把水分、氧等成分控制在ppb以下。
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