CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由4路供气系统KTL1600管式炉+真空系统组成。
（1）、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。
（2）、采用的是热弯技术，电阻均匀，使用寿命长
（3）、Lu冷端长度为210mm， 400X300X300炉子为260 ，一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
（4）、硅钼棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护硅钼棒。
当电路过流或漏电时，空开会自动断开
该气氛管式炉可配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
（1）、真空吸滤成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
（2）、采用*成型。
（3）、炉膛材料热容低、热传导系数低，从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
（4）、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强
（5）、炉膛表面光洁、不易掉粉。
（全部通过UL认证的进口电器）
采用宇电程序控温仪表（标配）
1、30段程序控温智能PID调节。
2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。
3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）
4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
5、仪表具有温度自整定的功能
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