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P-300F ,P-300BV Pro ALD 生产型原子层沉积机

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市蓝星宇电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/7/14 8:59:09
  • 访问次数322
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司,经过十多年的紫外光专业技术沉淀,可以根据客户特殊要求提供定制化服务,研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机),准分子清洗机,等离子清洗机/去胶机等科研以及生产设备,拥有自主品牌及注册商标。 同时我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化,为广大中国及海外客户提供的仪器设备和材料的整体解决方案。 应用领域: 半导体/微纳,光电/光学, 生命科学/生物医疗等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等。 半导体/微纳,光电/光学 产品主要有: 德国ParcanNano(Nano analytik)针尖光刻机,电子束光刻机, 激光直写光刻机,紫外光刻机,微纳3D打印机,德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积,英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机,微波离子沉积机MPCVD,芬兰Picosun原子层沉积机,电子显微镜, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪,美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯,美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管,德国Diener等离子清洗机等*技术产品。 生命科学/生物医疗 产品主要有:PCR仪,核酸质谱仪/核酸检测仪,电子显微镜,紫外设备,光谱/色谱/质谱/波谱仪,生物芯片,试剂,实验耗材等。 并可依据客户需求,研发定制相关产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务,为高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等客户提供仪器设备和材料。
电子显微镜
PICOSUN P-300F ,P-300BV Pro ALD 生产型原子层沉积机,衬底尺寸和类型 200 mm 晶圆 25 + 2片/批次 (标准间距)。
P-300F ,P-300BV Pro ALD 生产型原子层沉积机 产品信息


PICOSUN P-300F Pro ALD
PICOSUN P-300BV Pro ALD


技术参数
。衬底尺寸和类型 200 mm 晶圆 25 + 2片/批次 (标准间距)
。150 mm晶圆50 + 2片/批次 (标准间距)
。100 mm晶圆50 + 2片/批次 (标准间距)

工艺温度: 50 - 300 °C

基片传送选件:

P-300F Pro: 27片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™200集群系统实现。
。P-300BV Pro: 52片晶圆盒对盒式全自动装载,用真空批量load lock实现

标准 。 P-300F Pro: SEMI S2 认证
。P-300BV Pro: SEMI S2 认证(认证中)

前驱体

。液态、固态、气态、臭氧源
。前驱源余量传感器, 并提供清洗和装源服务
。6根独立源管线,最多加载8个前驱体源

重量: 820 kg

尺寸 :(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

选件: 集群工具, PICOFLOW™ 扩散增强器, N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。

验收标准: 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺,

其他工艺可具体协商:其他工艺、应用具体验收标准如
- 不均匀性
- 颗粒物含量
- 重金属污染
- 电学性能

关键词:传感器
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