URE-2000S/35L（B）型双面光刻机
技术参数
。曝光面积：4 英寸
。光 源：紫外 LED
。曝光波长：365nm：20-40mW/cm2
。分辨力：1μm
。正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm
。对准精度：± 2 μm（双面，片厚 0.8mm），Thelta: 0.6μm（单面）
。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸,厚度 0.1mm--2mm(双面)
。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
。照明不均匀性： 2.5%（ Ф100mm 范围）22
。掩模相对于样片运动行程：X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6 度
。调平接触压力通过传感器保证重复
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口，也具备接近模块接口
。胶厚：400 μm （SU8 胶，用户提供检测条件）
。光源平行性：2°
外形尺寸：1300mm（长）x900mm(宽) x1800mm（高）
配置
（1）曝光头
。冷光椭球镜
。LED 进口光源
。冷却模块
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2、能力调节器、微光学整形元件
（2）对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,自动完成
。样片调焦机构，气缸自动调
。承片台 3 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸）
。掩模夹 3 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。掩模抽拉式上下机构
（3）双目双视场对准显微镜（可以选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）
。光源、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
。CCD 光学系统（选配件）
。XYZ 底面对准工件台23
（4）底面 CCD 对准系统
。光源、电源
。成像光学系统
。数据采集卡
。CCD
（5）电控系统
。单片机控制系统
。控制柜桌
。计算机系统（21 英寸宽屏液晶显示器）
（6）气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
（7）其他附件
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一台 （音静泵）
。管道
采购中心
